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電気・電子業界：電子部品：加工・組み立て

■ チップ吸着確認（エアー流量計測方式）

使用製品名 ： MCS


・ 圧力センサと比較して小型化、軽量化（9g）を実現し、ノズル近傍への設置が可能となります。
・ 5msecの高速応答（1.5LM→0LM変化時の出力応答）で吸着確認時間を短縮可能。
・ 質量流量計測のため、吸引圧力変動の影響を受けません。
・ アナログ出力で、フィルタの詰まり、ノズルの詰まりが検知できます吸着ツールの交換時期がホスト側で一元管理が可能です。

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