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半導体・FPD業界：半導体 前工程、FPD セル工程 |
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■ 酸・アルカリ系薬液の漏液検出 |
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使用製品名 ： HPQ-D
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アンプ内蔵形漏液センサHPQ-Dシリ−ズは、主に半導体製造装置や液晶製造装置 の前工程において 酸、アルカリ系薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うセンサです。
従来のリボン式の漏水検知帯ではメンテナンス性が悪く、漏液検出後の再立ち上げにがすぐにできない、導電性のない薬液などは検出できないなどの欠点がありますが、HPQ-Dシリーズは光学式で、簡単メンテナンスです。
ハウジング、ケーブルはPFAで保護、ブラケットにはPVCを使用しており、 酸、アルカリ系薬液環境下でも問題なくお使いいただけます。 |
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