製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

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半導体・FPD業界：半導体　前工程、FPD　セル工程

■ 有機溶剤系の漏液検出

使用製品名： HPF-D040

漏液ファイバHPF-D040は主に半導体製造装置や液晶製造装置の前工程において、有機溶剤系薬液の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うセンサです。

ファイバ形ですので、防爆環境下での使用が可能です。
ハウジング、ケーブル、ブラケット（ブッシュにSUS）はPFAで保護、ブラケッを使用しており、有機溶剤系薬液環境下でも問題なくお使いいただけます。