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半導体・FPD業界:FPD セル工程

■ ガラス基板、マッピング

使用製品名 : UNAMシリーズ

UNAM
 
長距離超音波変位センサUNAMシリーズにて収納カセット内のガラス基板のマッピング位置計測が可能です。

ガラス基板を下側から取り出すことで、常に最下面の位置計測が可能となります。計測距離に応じて、アナログ4〜20mAを出力します。

計測距離は400mm〜2,500mmと広範囲の計測が可能です。

超音波方式のため、ガラス基板の色、表面状態に影響されず、安定した計測が可能です。


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