製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

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半導体・FPD：FPD　セル工程、アレイ工程

■ ガラス基板の位置決め：3カメラ又は4カメラ

使用製品名： SVS

ガラス基板上のアライメントマークの位置ずれ量を高速かつ高精度に検出します。
大型／複数サイズ基板に対応するために4台のカメラが接続可能なコストパフォーマンスに優れた位置決め用画像センサです。

・	パターンマッチング（POCアルゴリズム） □10mm視野での繰り返し精度：±0.005mm ※計測条件により変動します。
・	処理時間 80msec.（カメラ取込時間含む：シャッタースピード1/100sec.)

	・	4台のカメラから任意の2台を選択し、それぞれのマークの位置ずれ量を検出します。アライメントマークの位置や基板サイズの変更に柔軟に対応します。
	・	POCアルゴリズムによりアライメントマークのコントラスト変化や反転、マークのヨゴレに影響されにくい検出が可能です。
	・	ガラス基板の位置ずれにあわせてアライメントマークの計測領域が自動的に位置補正されるため、プリアライメントの負荷が低減します。