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■ FDP基板の高精度アライメント |
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使用製品名 ： 万里眼 |
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■ 概要 |
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最大4台のカメラで、プローブの位置合わせおよびFPD基板のアライメントが可能です。 |
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パターンマッチング（POCアルゴリズム）
□10mm視野のXY繰り返し精度±0.005mm |
| ※計測条件により変動します。 |
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キャリブレーション／テーブル座標変換機能
カメラ座標から、メカ座標系への変換を行い、マーク位置ずれ量からアライメントテーブルの補正量を演算します。（オプション） |
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■ 特徴 |
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最大4台のカメラを同時に画像取り込みすることにより、振動や照明のチラツキなど外乱要因による誤差の低減とスループットの向上を実現します。 |
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POCアルゴリズムによりアライメントマークのコントラスト変化や反転、マークのヨゴレに影響されにくい検出が可能です。 |
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Ethernet（TCP/IP）経由で多彩なコマンドによる通信や大容量データの高速転送が可能です。 |
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■ システム構成 |
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