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半導体・FPD業界:FPD セル工程
■ ガラス基板の位置決め
使用製品名 : SVS
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個体差によるアライメントマークのコントラストバラツキや、欠けの影響を受けずに安定した計測が可能です。
・
2カメラを使用して、各カメラのX,Yずれ量から精密角度(arctan)まで演算して出力できます。
・
1/10〜1/100ピクセルの高精度な計測が可能です。
・
位置補正テーブルの回転軸とずれ量計測で用いる回転中心を一致させることが可能です。
・
一方の基板が固定の場合に、もう一方の基板の補正位置ずれ量を得る事も可能です。
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