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半導体・FPD業界：FPD　セル工程

■ 真空チャンバー内、ビューポート越しのガラス検出

使用製品名 ： HPA-G

透明体検出専用 長期安定性
HPA-G
  
透明体検出専用光電センサ、HPA-Gにてビューポート越しのガラス基板検出や飛び出し検出が確実に行えます

従来のアンプ内蔵形よりも微小差検出が可能で温度変化による光量変化を補正する機能も内蔵しています。

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