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半導体・FPD業界:FPD セル工程

■ ガラス基板の位置決め HPX-AG

HPX-AG
 
デジタルファイバセンサHPX-AGでは汎用ファイバとの組み合わせでガラス基板などの透明体の位置決めを高精度に行うことが可能です。

HPX-AG
 
透過形ファイバで、高い繰り返し精度を得るためには、ワークの移動量が同じ場合、光軸が小さい方が左図の通り、 急峻な光量変化が得られ、高い繰り返し精度が期待できます。

※光軸大きさは検出距離にも関ります。検出距離を十分に光量が得られる位置に設置することが前提となります。

HPX-AG
 
標準透過形で検出前に再チューニングを 繰り返すことで、更に繰り返し精度の向上が期待できます。

HPX-AG
 
四元素LEDとAPCによる投光量制御のダブル効果で高安定化を実現
光量劣化の少ない四元素LEDとAPCにより、投光LEDの投光量を監視し、投光量を一定に保つように制御します。
内的要因により、検出が不安定になることを防ぎます。

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