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■ チップ吸着確認（エアー流量計測方式） |
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使用製品名 ： MCS |
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部品の微細化、搬送タクトタイム短縮化により、従来の圧力センサによる吸着確認は限界があります。
流量センシングにより微細ワークの吸着確認の確実性向上、タクトタイムの短縮化に貢献します。
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流量センシングにより微細ワークにも対応 |
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5msの高速応答によりタクトタイム短縮化に対応 |
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フィルタが詰まることで流量低下しますから目詰まり検出が可能となりフィルタメンテナンス時期の把握ができます。 |
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圧力センサで問題となる気圧変化の影響を受けない質量流量測定 |
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圧力センサと比較して、開放状態と吸着状態の出力差が大きくとれます。
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