製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

業界別で探す

半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ ウエハのアライメント PBZ

ウエハの偏芯やノッチ位置を高速・高精度に計測。
ガラスやガリウム砒素など、透明度の高いウエハでも、CMOSリニアイメージセンサと弊社独自のＦＤＮアルゴリズムにより、安定して計測できます。


	コントローラにはセンサヘッドを２set接続でき、スループット向上に貢献します。		計測幅7ｍｍと30ｍｍをラインナップ。多種サイズウエハが混流する場合は、30ｍｍタイプで広範囲に計測できます。