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ガラス基板のアライメントのアライメント PBZ
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半導体・FPD:FPD アレイ工程
■ ガラス基板のアライメント PBZ
ガラス基板の端面でのアライメントに、画像処理のようなカメラ・照明の調整や煩雑な設定をする事なく、センサー感覚でご使用いただけます。
CMOSリニアイメージセンサと、弊社独自のFDNアルゴリズムにより、面取りの無いガラスも安定した計測が可能です。
取り付けスペースが小さい場合は、計測幅7mmタイプを、第7世代・第8世代などの大型基板には計測幅30mmタイプをラインアップ。
30mmタイプには、フラットビュータイプとトップビュータイプをご用意しています。
Θ演算機能
チッピング検出機能(位置変化出力)
ガラスエッジの位置変化から、
傾きΘを演算して出力します。
計測範囲:±3°
位置変化時間:Tと
位置変化量:Lを設定し、
設定された勾配以上の変化があった場合に
DO出力します。
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