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■ ロボットハンド上での
ウエハのアライメント |
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使用製品名 ： 万里眼 |
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従来の回転検出方式に比べ、Xyθずれ量を簡単に高速精度に検出します。ウエハアライナへのロード／アンロード作業が不要になり、省スペースとスループットの向上が可能になります。
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処理時間
300msec.以内（シャッタスピード1/100sec.含む） |
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繰返し再現性
パージエアーによる外乱にも対応
ウエハ中心位置（XY）繰り返し精度±0.03mm以内
ノッチ・オリフラ角度（θ）繰り返し精度±0.12° 以内 |
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キャリブレーション及び座標変換機能を搭載 |
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検出部に可動部が無いためパーティクルの発生がありません。 |
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レンズの交換により精度を維持したまま各種ウエハサイズに対応可能です。
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CMOSメガピクセルカメラ採用により300mmウエハのノッチも鮮明に捉えることが出来ます。 |
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Ethernet（TCP/IP）経由で多彩なコマンドによる通信や大容量データの高速転送が可能です。 |
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