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■ ウェハ有無検出 |
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使用製品名 ： HPF-D045シリーズ |
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| 薄型フラット構造のファイバユニットHPF-D045LFではロボットハンド上など取付スペースが限られる場合にもご使用いただけます。
デジタルファイバセンサHPX-AGシリーズとの組み合わせで調整作業の簡素化、長期安定検出が可能となります。
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デジタルファイバセンサHPX-AGシリーズとの組み合わせでウエハを
使わない「ワークなし感度設定」が可能です。
装置立ち上げ、調整時間の大幅短縮が図れます。
■ ワークを使わない感度設定
（BGSチューニング）
受光量1000（ワークなし）状態で「AUTO」ボタンを2回の操作で
感度設定が完了します。
BGSチューニングではチューニング時の光量を基準（背景が
ある場合には、背景からの受光量）に、その光量を検出したい
最大感度に設定されます。
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