 |
業界別で探す |
|
■ 真空環境下でのウェハ有無検出 |
|
使用製品名 ： HPF-Vシリーズ |
|
|
|
真空ファイバHPF-Vシリーズは高温350℃、超高真空の環境下でご使用いただけます。
真空チャンバーにビューポートが設置できない場合や片側のみビューポートで反射形センサで検出、
ウェハ表面状態により検出が安定しない場合などに置き換わり、真空チャンバー内にファイバセンサを引き回し、安定した検出が可能です。
デジタルファイバセンサHPX-AGシリーズとの組み合わせでガラスウェハなどの透明度が高いウェハの検出も可能です。
|
|
|
|
|
