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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ ウェハノッチ位置決め

使用製品名 ： HPF-D028、HPF-D028Fシリーズ

HPF-D028、HPF-D028Fシリーズ
限定反射ファイバユニットHPF-D028、HPF-D028Fをご使用いただくことで、設置スペースに限りがある場合や背景がある場合などでもウエハのノッチ検出が可能です。
ウェハが回転する際、偏芯による位置ずれがないことが条件となります。

HPF-D028
HPF-D028F
HPF-D028 相対受光感度特性
HPF-D028
HPF-D028F

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