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半導体・FPD業界:半導体 前工程

■ ウェハ飛び出し検出

使用製品名 : HPF-T020シリーズ

HPF-T020シリーズ
サイドビュー狭光芒タイプ、透過形ファイバユニットHPF-T020は開口角±2°で光の回り込みが少なく、ウエハの飛び出しも安定して検出が可能です。
また、デジタルファイバHPX-AG02シリーズとの組み合わせで調整作業の簡素化、誤動作を未然に防ぎ、長期安定検出が可能となります。

デジタルファイバセンサHPX-AG02シリーズでは投光量の自動補正機能APCを搭載していますが、光量減衰には様々な要因があります。

HPX-AG02シリーズにはリモートチューニング入力、光量減衰出力を搭載しており、リモートチューニングによる再設定、その他光量減衰要因による警報出力、 APC補正限界を知らせるAPC出力などを搭載し、誤動作を未然に防ぐことができます。

HPF-T020
関連機能 リモートチューニング

尚、光量減衰出力は再チューニングした際にも再設定時の光量を基準として、再設定されます。


デジタルファイバセンサ HPX-AG おすすめページ
ファイバユニット HPF

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