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半導体・FPD業界：半導体 前工程、FPD セル工程 |
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■ 水滴の付着したウェハ有無検出 |
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使用製品名 ： HPF-T029
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ウェハ表面が鏡面仕上げされている場合、正反射体となるため、左図のように透過形ファイバユニットを使用し、限定反射として設置することで安定検出が可能です。
ウェハ上に水滴などがある場合も安定した検出が可能です。
HPF-T029はPFAチューブ被覆タイプですので、WET環境下でも誤使用いただけます。
また、曲げ半径R20mm、PFAチューブ毎フリーカットが可能で施工性が飛躍的に向上します。
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