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半導体・FPD業界：半導体　前工程、FPD　セル工程

■ 水滴の付着したウェハ有無検出

使用製品名 ： UNAMシリーズ

HPF-T029
長距離超音波変位センサUNAMシリーズでは超音波センサの特徴を生かし、ウェハに水滴がある場合にも安定的にウェハの位置計測、有無検出が可能です。
耐環境性についても保護構造IP67です。

※UNAMシリーズはアナログ出力タイプです。

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