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画像センサを使用すれば、ノッチ全体を情報として検出するため、ウエハ保護フィルムに削りカス等が付着しても従来の光電／レーザーセンサに比べて、安定したノッチやオリフラの位置測定が可能です。 |
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処理時間
50msec.以内（シャッタスピード1/100sec.含む） |
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繰返し再現性
□10mm視野での繰り返し精度±0.001mm以内
※計測条件により変動します。 |
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キャリブレーション及び座標変換機能を搭載 |
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検出部に可動部が無いためパーティクルの発生がありません。 |
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レンズの交換により精度を維持したまま各種ウエハサイズに対応可能です。
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CMOSメガピクセルカメラ採用により300mmウエハのノッチも鮮明に捉えることが出来ます。 |
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Ethernet（TCP/IP）経由で多彩なコマンドによる通信や大容量データの高速転送が可能です。 |
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