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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ ウエハノッチ確認

使用製品名 ： HPF-T021

アレイ光軸により、偏芯にも対応
HPF-T021
アナログ出力ファイバセンサHPX-MAと透過アレイ形ファイバセンサHPF-T021との組み合わせでウエハ回転時の偏芯がある場合にも確実にウエハノッチ検出が可能です。

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