製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ ウエハ飛び出し検出

使用製品名： HPX-AG

デジタルファイバセンサ、HPX-AGシリーズは従来にない高分解能を実現、標準ファイバユニットとの組み合わせで、透過率の高い石英ガラスウエハの検出も可能です。
また、設置環境、使用環境の変化による光量減衰が懸念される場合にはリモートチューニングタイプにより、都度再チューニングを行うことで常に安定した検出が可能となります。