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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ フープ有無検出

使用製品名 ： HPA-G

耐薬品対応 長期安定性
HPA-G
透明体検出専用光電センサ、HPA-Gにてウエハ収納用フープなどの透明体の安定した検出が可能です。

従来のアンプ内蔵形よりも微小差検出が可能で温度変化による光量変化を補正する機能も内蔵しています。

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