製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ ウエハマッピング検出

使用製品名： HPF-T030

光軸調整不要の狭光芒
マッピング用ファイバユニットHPF-T030は超狭光芒、開口角±1.5°以下を実現しました。光の回り込みが少なく、ウエハの2枚重ね、斜め差しの検出が可能です。

迷光も極力抑えた光学設計を実現し、ウエハ表面の乱反射の影響を軽減できます。

また、光軸は機械軸で調整して出荷、煩わしい光軸調整作業を省きます。