製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

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半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ チャンバー内の高精度温度制御

使用製品名： DMC50/EST-Z

特徴

■	制御の安定性（繰返し制御精度）外乱時間の長い系の外乱に対し、有効な制御アルゴリズムによる安定性を実現。

■	高分解能 16.000～37.000℃の温度レンジにて2/10,000℃の分解能。 RTD4線式を標準サポート。

■	Ethernet通信サポート上位システムへの接続性に配慮。 Ethernetによる通信サポート。

■	マルチループ対応省スペースの実現のため、1モジュール4ループ制御を実現。インターロック・警報出力を行うためのデジタル入・出力を用意。

■	インターフェース弊社標準プロトコルでEST-Zと簡単通信。オペレーション環境を構築。