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■ チャンバー内温度制御の高度化 |
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使用製品名 ： AHC2001/EST-Z |
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プロセスに応じた演算ロジックが組み込み可能 |
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上位システムとの通信接続 |
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マルチループ制御と省スペース化 |
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高度制御ロジックの構築
ウエハ載置時に伴う温度変化などの外乱に対して、相関関係を見出す事でフィードフォワード制御による制御系の安定化も可能。
高速整定ロジックと高精度制御ロジックでオーバーシュート抑制と外乱安定性を両立。 |
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Ethernet通信サポート
上位システムへの接続性に配慮。
Ethernetによる通信サポート。 |
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マルチループ対応
1モジュールあたり4点のアナログ入力を実現し、省スペース化に貢献。最大32ループ制御をサンプリング周期50msで実行可能。 |
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インターフェース
弊社標準プロトコルでEST-Zと簡単通信。
オペレーション環境を構築。 |
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