製品情報：半導体・FPD業界【株式会社山武】

業界別で探す

半導体・FPD業界：半導体　前工程

■ スピンコータでの薬液吐出量管理（タンクへの窒素供給量モニタ）

使用製品名： CMS

	■ コーター・デベロッパ
	レジスト液の滴下量は薬液タンクへの窒素供給流量にて管理されています。

	・	窒素流量は浮子式流量計の表示を見ながらニードル弁で設定されています。

	・	流量警報接点を取り込みたい場合、浮子式流量計では外部スイッチ（光電センサ、　リードセンサ等）が必要となり、微妙な警報設定が困難であることとコストアップとなることが問題です。

■ マスフローメータ CMSのポイント

	・	デジタル数値管理マスフローメータ CMSはデジタル表示と共に窒素の圧力・温度変化の影響を受けない質量流量計測ですから、より外乱要因を排した厳密な流量管理が可能です。

	・	流量計の設置自由度の向上浮子式流量計では、その計測原理ゆえに取付け姿勢（垂直）、設置場所（パネル前面）に大きな制約がありましたが、CMSでは装置内部への設置が可能なので、装置内部の機器レイアウトの制約を緩和できます。

	・	さらに、マスフローコントローラでのご提案配線ルールの極細化に伴いレジスト膜の膜厚均一化が新たな課題となりますが、デジタルマスフローコントローラ CMQ-Vにて窒素供給量を高速に制御することにより、スピンステージの回転数に応じたレジスト滴下量コントロールが可能となります。