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■ 真空チャンバ内のウエハ中心位置計測 |
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使用製品名 ： 万里眼 |
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■ 概要 |
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1カメラでウエハ円周上の一部分をキャプチャし、独自の方法で高速、高精度にウエハ中心位置を算出します。
複数のカメラを使用せずに高精度な計測が可能なので、装置の省スペース、コストダウンを実現します。 |
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処理時間
100msec.以内（シャッタスピード1/100sec.含む） |
| ※パラメータ設定により変動します。 |
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繰返し再現性
50×8mm視野での繰り返し制度±0.03mm以内 |
| ※計測条件により変動します。 |
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キャリブレーション／テーブル座標変換機能を搭載（オプション） |
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■ 特徴 |
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メガピクセルカメラでサブピクセル精度の再現性
独自のアルゴリズムと専用メガピクセルカメラの採用により高精度かつ高速なウエハ中心位置計測を実現しました。 |
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バックライト（透過照明）方式を採用
反射照明方式では解決できなかった、ウエハのレジスト材質やエッジ形状のばらつきによる画像の不鮮明化問題を解決します。 |
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ビューポートの設置面積を縮小します
計測に必要なビューポートは上下に2つ（カメラ用、照明用）だけです。 |
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■ システム構成 |
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