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用語集

制御機器に関する用語をまとめました。


■ アイソレーション

絶縁のこと。調節計や記録計などの計装機器で使用される言葉としては、入力部と出力部あるいは入力部間、出力部間の電気的な絶縁状態のこと示す。


■ 圧力損失

流体が機械装置などを通過する際の単位時間単位流量あたりのエネルギー損失のこと。 摩擦損失とも呼ばれる。圧力と同じ次元を持ち、損失は装置内の抵抗に打ち勝つために、その分だけエネルギーを消費することにより発生する。


■ 安全遮断弁

燃焼装置の燃料遮断に使用するバルブのこと。JISには、緊急時に短時間(1秒以内)で燃料の停止を行い、自動的に復帰しないバルブと定めている。


■ 安全保持器

ツェナバリアのこと。本器と組み合わせることで電気機器が本質安全防爆システムとなる。組み合わせには認定が必要。安全保持器は組み合わせされた電気機器にて火花・アーク等が発生しても、爆発性ガスに対して発火能力が無くなるように作用する。


■ イグニッショントライアル

バーナへ点火動作を行うこと。


■ イコールパーセンテイジ特性

相対トラベルの等量増分が、相対容量係数の等比率の増分を生じる固有流量特性のこと。
アズビル表現:イコール%、%V(ケージ弁のとき)、%C(コンタード単座弁のとき)


■ 一時側圧力(入力側圧力)

バルブや流量計などの上流側圧力のこと。通常は二次側圧力よりも高い圧力で、流入側圧力、入力側圧力ともいう。


■ 位置比例制御

弊社では、コントロールモータを使用した比例制御のことをいう。 コントロールモータに組み合わせ使用する操作端としては調節弁、バタフライ弁、ダンパー等がある。


■ イベント出力(EV)

調節計や記録計等で、主制御とは独立して、プロセス(PV)異常などを判断し、警報として出力する機能ことをいう。PV上限/下限警報、偏差上限/下限警報等に使用。 また、レディやマニュアルなどの状態を出力することもできる。


■ インターロック

機器を安全に動作、運転させるために機器の動作状態を表す接点を使用して、互いに関連ある機器の動作を拘束しあう論理的な判別回路に使用する機器の接点のことをいう。


■ 上蓋

バルブの本体部を構成する部品。圧力容器の一部として扱われ、流体の温度により低温形や高温形なども使用される。


■ エアーロック弁

空気圧信号または供給空気圧力変動の際に、調節弁の開度を保持するもの。


■ エロージョン

流動速度の速い流体が繰り返し衝突し、内弁や本体の壁面に機械的損傷を与え、一部の金属が脱離(欠損)していく現象。 また、これに科学的腐食(コロージョン)による作用を含める場合もある。


■ 塩害

海水の飛沫や風雨によりもたらされる塩分が設備機器の腐食を進めること。塩害対策として、塗装による対応や材質変更(ステンレス化)などが行われる。


■ オートチューニング(AT)

auto-tuning.PIDの最適値を自動演算する機能。


■ オフセット

比例制御において制御量が安定したときに、設定値と制御結果が必ずしも一致しないことがある。このときの設定値と制御結果のずれのことをオフセットという。


■ オリフィス

流量検出端、プライマリーエレメントと呼ばれるもののうち、プレート状の機構を指す。また、流量計の下流などに入れることで排圧を確保する目的のものもある。

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■ カーボンポテンシャル(CP)

炭素濃度のこと。COガスを含む。


■ 外部接点入力(DI)

調節計等で、リモート、ローカルの切替や、マルチSPの切替、オート、マニュアルの切替等に使用される外部入力のことを外部接点入力(DI)という。


■ 外部ゼロ調整機能

発信器のゼロ点調整を行うため、通信を使用せず、機械的なボリューム、リードスイッチなどにより、発信器のゼロ調整を行う機能のこと。


■ 火炎検出器

燃焼炎の持つ熱、光、電気的特性のいずれかを検出し、その有無を確認する機器。 弊社には、光を検出するものとして、UVセンサ(紫外線式)、可視光センサ(可視光線式)がある。また、電気的特性を利用するものとしてフレームロッドがある。


■ カスケード制御

自動制御における追従制御の一種。一つの制御系の出力信号によって別の制御系の設定値が与えられる制御方法。


■ 過熱度

過熱蒸気の温度とその圧力に相当する飽和蒸気の温度との差のこと。 FCIのCv計算式では、過熱による容積増分を補正する係数として使用する。
t=ts-t、t:過熱度、ts:過熱蒸気の温度、t:その圧力に相当する飽和蒸気の温度。


■ 空検知機能

電磁流量計検出器内の流体が電極レベル以下になった場合に、アナログ出力、デジタル出力、パルス出力、表示出力について、出力0%(4mA)に固定する機能のこと。


■ カレントトランス

ヒータに流れている電流値を検出するためのもの。ヒータの断線やリレーなどの短絡状態を監視できる。


■ 疑似火炎(信号)

火炎検出器が実際には「火炎」が無いにもかかわらずフレーム信号を発生させている状態。 UVセンサでは自己放電など、フレームロッドでは電気的ノイズなどが原因。


■ 逆作動

計器信号の増加により弁が開く形式、または操作器の軸が後退すること。


■ キャビテーション

流体が液体(水、熱水など)の場合、弁絞り部を通過する際に圧力が飽和蒸気圧力よりも低下することがある。 このとき、流体の一部が蒸発して気泡(キャビティ)を発生するが、弁下流側で圧力が回復して飽和蒸気圧力を超えると、気泡は崩壊し再び液体に取り込まれる。この現象のこと。


■ 強度計算書

メータボディカバー、フランジ、ボルトなどの強度を計算した結果を示したもの。一般的に高圧ガス保全法に対応するドキュメントの一部として要求される。


■ 禁水処理

接液部分の水分を除去した状態で出荷すること。


■ 禁油処理(オイルフリー)

配管系からの油脂成分の発生が、装置・製造物に悪影響を及ぼす可能性がある場合、および流体が酸素(接ガス部に残留している油分が気体との摩擦で発火する可能性があるため)を使用する場合に必要となる。部品表面の残留油分濃度が規定値以下となるよう接ガス部を洗浄する処理。


■ 空燃比

Air-fuel ratio. 燃焼の際の空気量と燃料の量の混合の割合をいう。


■ グローブ弁(玉形弁)

一般に球形の弁箱をもち、入口と出口の中心線が一直線上にあり、流体の流れがS字状となるバルブのこと。


■ 計測震度相当値

東京大学地震研究所の山崎先生が求められた、SI値と合成加速度値を使用した2種類の計測震度演算相関式を元に算出した値。


■ 減圧弁

二次側の流体圧力を、一次側の流体圧力より低い、ある一定圧力に保持する調整弁のこと。供給空気圧力を操作器が必要とする圧力まで下げるためのフィルタ付減圧弁も含まれる。


■ 高圧ガス保安法準拠ドキュメント

高圧ガス保安法に準じた書類を要求された場合に提出するドキュメントを指す。強度計算書、ミルシート、耐圧・気密試験成績書の3部で構成されている。


■ 合成加速度

地震センサの加速度ピックアップセンサが検出した3軸(X,Y,Z軸方向)加速度値より水平面2軸(X,Y軸)または3軸のベクトルを合成して求めた値の最大値。加速度の単位はGal(ガル)。


■ コロージョン

流体の持つ化学的または電気化学的な作用により、本体や内弁等の表面が変質、損傷を受けること。
=腐食

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■ サージアブソーバ

過度的に短時間出現する異常電圧、異常電流の吸収器。電気機器の電源に取り付け、機器の破損を防ぐ。


■ サイジング

使用条件に最も適するサイズ(口径・弁径)や仕様(形式・材質など)を選定すること。
=バルブの選定


■ サニタリバルブ

食品の製造設備や化粧品、医薬品、飲料等の設備に用いられるバルブの総称。 内部に液溜まりを持たず表面の仕上げが滑らかで、内部の洗浄や分解組み付けが容易、接続はクランプ式やベベルシート式が用いられるもの。


■ サンプリング周期

入力を取り込んで様々な演算処理を行い、次の入力を取り込むまでの時間の間隔。調節計を例にとると、PVを取り込み、PIDなどの演算、表示の更新、出力の更新などを行い次の演算のためにPVを取り込むまでの時間の間隔。


■ シートリーク(弁座漏洩)

弁が閉止した状態におけるシート(弁座)部からの漏れ。漏れの許容量はIEC規格およびJIS規格で規定されている。


■ シートリング

弁本体に取付けられる弁座のこと。ねじ込み形、はさみ込み形などがある。


■ 時間比例制御

ON/OFF動作を使用した比例制御。設定した一定時間(サイクルタイム)の中でONとOFFの時間比率を偏差に比例させて制御する方法。


■ 質量流量

流体の流量を表現するとき質量流量計で計測した数値を指す。また、体積流量を基準の温度/圧力に補正演算後の値を示す。対比語として「体積流量」。


■ 樹脂配管用ガスケット

樹脂配管に電磁流量計検出器を設置する際に、PFAライニングと接液リング間、接液リングと樹脂装の配管フランジ間に取り付けられるガスケットのこと。


■ 手動ハンドル

手動操作にて弁の開閉を行うためのハンドルのこと。


■ 消炎応答時間(フレームレスポンスタイミング)

バーナが断火したとき、火炎検出器から消炎信号をバーナコントローラ(プロテクトリレー)が受け、遮断弁閉の信号を出すまでの時間。


■ 震度

地震の揺れの強さを表した数値。0〜7までの8段階であるがその中で、震度5と6にはそれぞれ強/弱があり、実質10段階となっている。 以前は、揺れの大きさにより人間が数値判定した結果を震度として発表していた。1995年の阪神・淡路大震災を機に、感覚的に決定してきた指標を改め、「計測震度計」を使用して震度が発表されている。
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■ スタンダード流量L/min(Standard)

スタンダード(standard)流量とは、20℃、1気圧(1atm)に換算した1分間当たりの体積流量のことをいう。 流量単位としては、L/min(standard) であらわす。弊社のマイクロフロー流量計の場合は、20℃、1気圧(1atm)を基準としているが、メーカーにより0℃、1気圧や25℃、1気圧を基準にしていることもある。


■ ステライト

コバルト、クロム、タングステンを主成分とした非鉄合金。硬度が高く、耐摩耗性、耐酸化性に優れるため、バルブプラグ・シートリング弁座部の硬化処理として使用される。デロロステライトグループの登録商標。


■ スマートローダパッケージ

調節計や記録計、マスフローコントローラ、AUR(バーナコントローラ)の設定や運転パラメータ等設定するときに用いる専用のパソコンソフトツール。


■ 正作動

入力信号の増加により操作器の軸が突出(前進)すること。


■ セルフチューニング(ST)

設定値の変更や外乱が発生した場合にPID値を自動で設定する機能。オートチューニングと異なり、調節計が判断をして機能する。


■ 操作器

調節弁の内弁(プラグ)と弁座(シート)との間隔を変えるため、空気、電気、または油圧で作動するもの。
=駆動部


■ 測温抵抗体(RTD)

白金などの抵抗素線よりなる抵抗素子、内部導線、保護管、端子などから構成される測温体で、抵抗素子の電気抵抗が温度によって変化することを利用して測定する。使用温度範囲としては、白金測温抵抗体で-200〜+500℃である。


■ ソフトシート形

弁座面の接触部に軟質性材料を使用する形式のこと。バルブのソフトシートは、弁座の締切性能の向上を目的として使用され、柔軟かつ科学的に安定な材料が用いられる。 一般的には、四弗化エチレン(テフロン)が多く使用されるが、用途に応じてグラス入りやカーボンファイバ入りなど充填剤入りのもの、ゴム系材料も使用される。
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■ 耐圧防爆

電気機器内部にて発生した爆発が、周囲の爆発性ガスに引火しないように点火源を実質的に隔離した構造をもつ機器の仕様。


■ 耐圧・気密試験(一般用)

接液部分の耐圧試験(水圧:10分間)、気密試験(N2:10分間)の結果を示す。


■ 体積流量

流体の流量を表現するとき体積流量計で計測した流量値を指す。計測値はその時の、温度/圧力に依存するため別条件にて計測した流量値とは比較検討できない。対比語として「質量流量」。


■ ダイナミックセルフチェック

連続運転用のバーナコントローラ(プロテクトリレー)の機能で、燃焼信号の有無の検出だけでなく、UVセンサのUVチューブおよびアンプ回路が正常に作動しているかどうかの点検をしながら燃焼監視を行うこと。


■ 突出し形タンクスパッド

突出し形発信器の接液部ダイアフラム部を固定するためのもの。タンクに溶接して使用する。


■ ディストリビュータ

信号分配器。


■ 定値制御

設定値が一定の制御のことをいう。


■ テストレポート

機器の外観、入出力特性、絶縁抵抗、耐電圧など、出荷前に規定されたテスト結果を示したもの。


■ 電磁弁

Magnetic solenoid valve.プランジャに連結された弁とそれを駆動するコイルとからなり、コイルに通電することにより磁力を生じさせてプランジャを動作させ、これに連なる弁を開閉することにより、流体の搬送、遮断をその目的に応じて行わせる弁。


■ 電力仕様

発信器で電力、ガス市場など特に厳しい品質管理が要求される場合に適用する仕様。 高静圧下における安定性のテストや、ハイスピードでの静圧変化による差圧計の入出力特性の確認テストが実施される。


■ 特殊バーンアウト(3.2mA)

異常時のバーンアウト出力値(下限方向)を、3.2mA(-5%)以下にすること。


■ トリム

バルブ内部の主要部分のこと。一般に弁体(プラグ)、弁座(シートリング、ケージ)、弁軸(ステム)を指す。
=要部


■ トレーサビリティ

製品を製造する際に使った検査機器のリスト。
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■ 二位置(ON/OFF)制御

Two position control. 操作量が大(100%を含む)、または小(0%を含む)の、2つの定まった値のいずれかをとる制御方式。例えば、ヒータを使用した温度制御では、測定値が設定値より高い場合はヒータをオフまたは低位置にし、低い場合はオンまたは高位置にする。


■ 二次側圧力

バルブや流量計など、機器設置後の下流側の圧力のこと。流出側圧力、出口側圧力、排圧と呼ばれることもある。


■ 二重ダイアフラム

発信器のダイアフラムの二重化を指す。二重ダイアフラム用のアダプタを使用するなど、ダイアフラムの交換が可能な構造をいう。


■ 入力バイアス

調節計が、入力信号に対し補正値を加えて内部に取り込む機能。この機能を利用して熱電対等の経年変化を補正して使用できる。


■ 熱帯処理

機器を使用する前の輸送中の過酷な条件(主に高温高湿状態など)による機器の異常発生を防止するための防湿・防錆処理。


■ 熱電対(T/C)

熱起電力を発生させる目的で、2種類の金属の一端を電気的に接続したもので温度測定用に使用される。一般的に使用される熱電対としては白金−白金ロジウム(R熱電対)、アルメル−クロメル熱電対(K熱電対)、鉄−コンスタンタン熱電対(J熱電対)、銅−コンスタンタン熱電対(T熱電対)などがある。


■ ノルマル流量m3/h(normal)

ノルマル(normal)流量とは0℃、1気圧(1atm)に換算した1時間当たり体積流量のことをいう。流量単位としてはm3/h(normal)であらわす。
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■ バーナコントローラ

燃焼安全制御器(プロテクトリレー)のこと。


■ バーンアウト

調節計に接続して使用する検出端(熱電対,測温抵抗体)が断線したときに、調節計のPV値をレンジの上限にし、出力(操作量)を0%として加熱を止めること(アップスケール)。また、PV値をレンジの下限にし、出力(操作量)を100%にする場合もある(ダウンスケール)。


■ パイロット炎確認時間(パイロットオンリータイミング)

パイロットバーナ点火後、メインバーナの安全遮断弁を開く前に、パイロットバーナが確実に着火したことを確認するための時間。


■ バッチ運転(装置)

燃焼装置の運転方式を区分する言葉。24時間以内に少なくとも1回起動・停止する燃焼装置のことをいう。 このような装置にはバッチ運転用のバーナコントローラ(プロテクトリレー)と火炎検出器を適用する。(関連:連続運転)


■ ヒータ断線警報(HB)

調節計のイベント機能の一つ。カレントトランス(ヒータ電流検出器)からのヒータ電流とあらかじめ設定した電流値を照らし合わせ異常時に警報出力として動作する。


■ ヒートクール制御

加熱・冷却制御のこと。


■ フィードバック制御

制御対象の測定結果を設定値と比較した後、必要な修正などを行う制御方式の総称。


■ フィードフォワード制御

外乱が生じたときに、外乱がもたらす結果を予測して、制御量の変動を最小に抑えるように動作する制御方法をいう。


■ フィルター付減圧弁

計装空気中の水分やごみを除去するフィルターが付いた減圧弁のこと。


■ 不動態化処理

接液部の表面に保護被膜を形成することにより耐食性を向上させるための処理のこと。


■ プラグ

流体を制御する栓のこと。


■ フレームシミュレータ

火炎検出器が火炎を検出しているのと同等のフレーム信号をバーナコントローラ(プロテクトリレー)に入力できる点検用器具。


■ フレーム信号

フレーム電流とフレーム電圧を総称した表現。近年のバーナコントローラは、フレームレベルの表示を「電流値」に代わり、「電圧値」に変更している。 電流値と電圧値が混在しているため、「フレーム信号」と総称している。


■ フレームリレー

バーナコントローラ(プロテクトリレー)の中にあるリレーで、火炎検出器からのフレーム信号により作動するリレーのことをフレームリレーという。


■ フレームロッド

燃焼炎の「整流現象」を利用した火炎検出器。その構造からガス燃料しか使用できない。


■ プレパージ

燃焼装置を安全に運転するための方策の一つ。点火動作に先立って、送風機のみをある時間運転し、炉内残留ガス(燃焼停止時の炉内残留ガスおよび装置停止中の遮断弁の漏洩などによる未燃燃料の炉内蓄積)を炉外に排気すること。


■ プロテクトグロ

ダイナミックセルフチェック回路を搭載した連続運転用燃焼安全装置。(バッチ運転装置にも使用できる)


■ プロテクトリレー(バーナコントローラ)

燃焼装置を安全に起動・運転する燃焼安全制御器のこと。弊社ではバーナコントローラとも呼んでいる。


■ プロファイル

装置の温度制御などにおいて何点かの場所の計測温度を一度に読んだり、あるいは設定値を書き込んだりする集合データ。


■ ペーパーレス記録計

記録媒体が従来の「記録紙」に替わり、内部メモリやCFメモリカードにデータを蓄積する。蓄積したデータはパソコンで解析ができ、イーサネット通信ができるなどの機能を持つ。


■ ベローズシール

ジャバラ状に成型された金属を利用して、液体・気体などと隔離する方法。用途として、蒸気や熱媒とスイッチ・駆動部との分離などに使用。


■ 放射温度計

物体から放射される「赤外線」を非接触で温度として検出する非接触温度センサ。


■ ポジショナ

調節計からの入力信号に対し、調節弁を正確かつ迅速に制御し、正逆作動の変更や特性の変更を行うもの。


■ 補助出力(AUX)

制御出力の他に、外部にPV値、SP値等の信号を出力する調節計の補助的な機能。


■ ポストイグニッション

パイロットバーナに点火し着火確認した後、バーナ火炎を安定させるために点火スパークを即時停止させずに一定時間継続動作させること。


■ ポストパージ

バーナ(燃焼装置)の燃焼停止後、送風機(ブロワ)を一定時間継続して運転し、炉内の排気を行うこと。


■ ボリュームブースタ

調節弁の作動速度を改善するもの。


■ ボンネット

調節弁の上蓋のこと。
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■ ミルシート

使用材質の化学成分、熱処理条件、機械的性質についてのデータを示すもの。


■ メイントライアル

メインバーナへ点火動作を行うこと。


■ メタルシート形

弁座面の接触部に金属材料を使用する形式のこと。


■ モジュール形調節計

NXやDMC10、DMC50等「表示/設定部」が無く、DINレール取り付けが出来る調節計の総称。表示/設定部が無いため、通信機能が標準で装備され、表示/設定は外部設置の表示器/パソコン等で行う。メリットは多ループ制御計装における「省配線」。
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■ 誘導雷

雷被害には直撃雷と誘導雷がある。誘導雷はその場所では雷が発生していなくても離れた場所(特に山の中)で雷雲が成長し、雲の中で+−の電気の平衡が崩れたときにサージとなり近くの高電圧線を伝い末端の工場/家庭に「誘導雷サージ」として侵入する。時として、このサージが原因となり、パソコンや制御機器を誤動作させることがある。


■ ユニバーサル入力

熱電対、測温抵抗体、電流、電圧など各種の入力を取り込むことができる機能。
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■ リミットサイクル法

オートチューニングで使用しているPIDの最適値を求める方法で、出力をオンオフし、これにより発生するサイクリングの周期と振幅の値によりPID値を算出する。


■ リミットスイッチ

調節弁の開または閉位置を電気信号に変換するための補助機器。


■ 硫化対策

主に腐食性ガスなどにより機器の異常発停を防止するための防錆処理。


■ レンジアビリティ

流量検出器や圧力検出器において計測できる最大値と最小値の比のこと。


■ 連続運転(装置)

燃焼装置の運転方式を区分する言葉。24時間以上連続して燃焼を続ける装置のことをいう。 このような装置には連続運転用のバーナコントローラ(プロテクトリレー)と火炎検出器を適用する。(関連:バッチ運転)


■ 連続比例制御

偏差(検出温度と設定温度の差)に比例した操作量として、連続した電流や電圧を使用して操作部(SCRや調節弁など)を制御する方法。工業市場では一般的に、4〜20mAの連続電流を使用する。


■ ロックアウト

Lockout. ある装置が作動したとき、そのままの状態に固定し自動的に元の状態に復帰しないようにすること。 復帰するには、作動した原因を解消したうえ、手動操作で行わなければならない。装置の安全のためのに使われることが多い。 工業用燃焼装置では、不着火、断火、インターロックがオフ等の信号でロックアウトするバーナコントローラ(プロテクトリレー)が使用されている。


■ ロングベントドレン

標準(24mm)より長い(58mm)ベント・ドレンプラグ * のこと。
* ベント:ガス抜き、ドレン:液抜きに使用されるプラグで、両方の目的に使われるため、ベント・ドレンプラグと称している。
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■ Air-fail-close

バルブ操作器の操作空気圧が消失したとき弁が閉じること(空気消失時閉)。
アズビル表現:逆作動(R)


■ Air-fail-open

バルブ操作器の操作空気圧が消失したとき弁が開くこと(空気消失時開)。
アズビル表現:正作動(D)


■ Air-to-close

バルブの操作器に信号空気圧力を加えたとき弁が閉じること(通気閉)。
アズビル表現:正作動(D)


■ Air-to-open

バルブの操作器に信号空気圧力を加えたとき弁が開くこと(通気開)。
アズビル表現:逆作動(R)


■ APエディタ

プログラマブル表示器ESTシリーズの画面作成用パソコンソフトツール。


■ CEマーキング

欧州連合で1995年1月以降に実施された製品安全規制のこと。このCEマーキングがない機械は欧州に輸出できなくなった。


■ Cv値

弁の容量を表すために一般的に用いられている数値。弁前後の差圧と流体比重及び温度の要素によりCv値が同一であっても実際に流れる流量は変わる。


■ DI

外部接点入力のこと。


■ DINレール

ドイツの規格、DINで寸法等を決めた機器(リレー、タイマー、温調計等)の取付用のレールのこと。


■ D動作(微分動作)(D)

Derivative Control Action.制御値が目標値からずれる速さに比例した制御量を与える制御動作。偏差が小さいうちに大きな修正動作を行う。単独で使用されることはなく、P動作やPI動作と組み合わせて機能する。


■ FIC

Flow Indication Controllerの略。 流量指示調節計のこと。


■ I動作(積分動作)(I)

Integral Control Action.修正動作の変化する割合が、制御偏差の積分値に比例する制御動作をいう。オフセットが現れた場合に操作量を変えてオフセットを解消するように動作する。I動作はそれ自体単独で使用されることはなく、必ず比例動作に伴って使用される。


■ Just-FiTTER(ジャストフィッター)

オーバーシュート抑制機能。オーバーシュートを極力抑えたい場合に、通常のPIDと組み合わせて使用する。


■ LIC

Level Indication Controllerの略。 レベル指示調節計のこと。


■ MV

Manipulated Variable。 操作量、操作端に送られる信号。


■ PIC

Puressure Indication Controllerの略。 圧力指示調節計のこと。


■ PID制御(PID)

Proportional integral and derivation control.比例動作、積分動作および微分動作を持った制御方式。


■ PLC

Programmable logic controller.シーケンサのこと。


■ P動作(比例動作)(P)

Proportional control action.比例制御。修正動作の大きさが、偏差の大きさに比例する制御方式。修正動作を行うべき制御量の幅を比例帯という。P動作だけの制御では、一般に制御量が設定値以下の値で安定してしまう、いわゆるオフセットが生じる。


■ PV

Process Value あるいは Process Variable。 現在値、測定値、検出値。


■ Ra-PID(ラピッド)

正式呼称はRationaLOOP PID(Ra-PID)。外乱に対する即応性を高めたときの不安定化傾向を抑制する機能。通常のPIDと組み合わせて使用する。


■ RS-232C

RS-232Cは不平衡形のインタフェースで、伝送速度19.2kbps以下、伝送距離15m以下の伝送方式である。そのメリットは、信号線最低3本で大容量のデータを送るこができ、構造が簡単で安価などである。


■ RS-485

RS-485は平衡形のインタフェースで、RS-232Cと比較して長距離(約300〜500m)の伝送に適している。信号線は5線または3線で共に1:nのマルチドロップ接続が可能。


■ SCR

シリコンコントロールドレクティファの略称。米国GE社とRCA社がほぼ同時に開発した製品。半導体素子トランジスタを組み合わせた物で、連続比例電流出力タイプの調節計と組み合わせてヒータ制御に使用する。


■ SI値

地盤表面に設置された地震センサが検出した地盤の揺れによって、数式で作られた仮想の建造物(建物等)が、どの程度の破壊力を受けるかを示した数値。また、単位はkine(カイン)で一般的にこの値が約30kine以上になると被害が大きくなっている。


■ SP

Set Point.  調節計などの設定値。


■ SPDT

Single Pole Doble Throw.単極双投接点(a接点またはb接点)のこと。


■ SPST

Single Pole Single Throw.単極単投接点(c接点)のこと。


■ SSR

ソリッドステートリレーの略称。電圧パルス出力タイプの調節計と組み合わせてヒータ制御に使用する。


■ Swagelok

Swagelok社の金属チューブ継手。一般のねじ込み接続と比較して、計装配管・プロセスにおける、高圧で危険を伴う流体の漏れをなくすよう設計されている。ストレートの金属チューブを継手内部に差し込み、金属チューブの外側から袋ナット内の玉を潰して締め付ける仕組み。


■ TIC

Temperature Indication Controllerの略。 温度指示調節計のこと。


■ UNF

米国規格の平行雌ネジで、SwagelokやVCR等の特殊継手を接続する場合に本体側のネジ加工形状に利用。


■ UVセンサ

火炎検出器のこと。


■ VCR

Swagelok社のメタル・ガスケット式面シール継手。一般のねじ込み接続と比較して、計装配管・プロセスにおける、高圧で危険を伴う流体の漏れをなくすように設計されている。継手面どうしを押しつけるようにして接続するために、チューブにねじりひずみを発生させない仕組みとなっている。このような構造のため、パーティクルの発生が極力無く、半導体装置には広く利用されている。
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■ %FS

% Full Scale (フルスケール誤差)。
Full Scaleとは調節計や記録計などの入力レンジ幅のこと。温度・流量等の測定レンジを持っている機器で制御精度や表示精度を表すときに使用する精度。機器設定の固有レンジ幅にこの比率をかけた数値が誤差範囲となる。


■ %RD

% Reading (読み取り値誤差)。
温度・流量等の測定レンジを持っている機器で制御精度や表示精度を表すときに使用する。その時の読取り値にこの比率をかけた数値が誤差範囲となる。%FSに対し、レンジ幅全体の低い部分での誤差量は小さい。


■ μフローセンサ(マイクロフローセンサ)(μF)

弊社のマイクロマシンニング技術から生み出された気体用流速センサ。1.7mm角チップに温度/圧力センサを一体成型した熱式流速センサ。本センサを応用した機器としてマスフロー製品がある。

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