マスフローメータ（流量レンジ～1500L/min） CMS【株式会社山武】

製品情報

CMS

■ 形番：CMS

■ 品名：マスフローメータ（流量レンジ～1500L/min）

■ この製品の特徴：

気体用マスフローメータ CMSシリーズは、
検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである
「μFセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用
した、質量流量計です。
マイクロマシニング技術を駆使して製作される
超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融
合により、従来にない高精度、ワイドレンジア
ビリティを低価格で実現しました。
また、使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこ
れからの流量計です。

■ 仕様：

◆SUS/SUS316モデル
形番	CMS9500	CMS0002	CMS0005	CMS0020	CMS0050	CMS200	CMS500
空気流量レンジ（各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報：気体流量計】をご覧ください	0～500 mL/min (standard)	0～2 L/min (standard)	0～5 L/min (standard)	0～20 L/min (standard)	0～50 L/min (standard)	0～200 L/min (standard)	0～500 L/min (standard)
空気流量レンジ（各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報：気体流量計】をご覧ください	standard とは、20℃・101.325kPa（大気圧）の流量に換算した値です。
対応ガス種類	窒素、空気、酸素、アルゴン、炭酸ガス（CO2）、都市ガス（13A）、メタン100％、プロパン100％、ブタン100％ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
使用圧力範囲	-0.07～1.0MPa
本体材質	SUSモデル：SUS303およびSUS316　　SUS316モデル：SUS316
定格電圧	DC12～24V
質量	約800g					約1400g	約2000g

◆樹脂/アルミモデル
形番	樹脂モデル		アルミモデル
	CMS0020B	CMS0050B	CMS1500B
空気流量レンジ（各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報：気体流量計】をご覧ください	0～20 L/min(standard)	0～50 L/min(standard)	0～1500 L/min(standard)
	standard とは、20℃・101.325kPa（大気圧）の流量に換算した値です。
対応ガス種類	空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス　　　ただし腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること
使用圧力範囲	0～0.5MPa		0～0.5MPa
本体材質	PBT（ポリブチレンテフタレート）		アルミニウム
定格電圧	DC12～24V
質量	約280g		約3000g

◆水素・ヘリウム対応モデル
形番	CMS0010	CMS0050	CMS0200	CMS0500	CMS1000	CMS2000
流量レンジ	0～10 L/min (standard)	0～50 L/min (standard)	0～200 L/min (standard)	0～500 L/min (standard)	0～1000 L/min (standard)	0～2000 L/min (standard)
	standard とは、20℃・101.325kPa（大気圧）の流量に換算した値です。
対応ガス種類	水素、ヘリウム　ただし腐食成分（塩素、硫黄、酸）を含まない乾燥気体であること。また、ダスト及びオイルミストを含まない清浄気体であること
使用圧力範囲	-0.07～1.0MPa
定格電圧	DC12～24V
質量	約800g			約1400g		約2000g