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製品情報

F4H

■ 形番:F4H
■ 品名:小型デジタルマスフローコントローラ

■ この製品の特徴:

F4H
小型デジタルマスフローコントローラF4Hは、自社
開発の高感度流速センサ「マイクロフローセンサ」
を搭載することにより、0.3secの高速制御性を実現
した気体用の流量コントローラです。
F4Hでは装置搭載に適したデザインを追求し、新し
いマスフローコントローラのスタンダードを目指し
て使いやすさを追求しました。

F4Hでは装置搭載に必要な機能に絞り込み、小型バ
ルブの採用、基板レイアウトの工夫を行うことで従
来製品比で50%の小型化を実現しました。
これらにより、マスフローコントローラを多数使用
する装置の小型化や、設置スペースの限られている
装置へ搭載する際の設置の自由度が向上しました。

また耐ノイズ性能を強化し、マスフローメーターで
初めて韓国S-mark認証を取得しました。

 


■ 仕様:

項目 F4H9050 F4H9200 F4H9500 F4H0002 F4H0005 F4H0020
バルブ動作 非通電時閉(N.C.)
フルスケール流量(空気にて) 注1 50.00mL/min 200.0mL/min 500.0mL/min 2.000L/min 5.000L/min 20.00L/min
ガス種類 注2 空気/ 窒素モデル:空気/窒素/アルゴン/炭酸ガス/水素/ヘリウム(設定で切替可能)
酸素モデル:酸素/空気/窒素/アルゴン/炭酸ガス/水素/ヘリウム(設定で切替可能)
計測 繰り返し性(基準条件にて)
±0.2% FS ±1digit
精度(基準条件にて) 注3 ±2% FS ±1% FS
制御 SPとPV値の偏差(基準条件にて)
±0.1% FS ±1digit以下
応答性(標準差圧にて) 流量ゼロから設定±2% FSで静定するまでの時間:0.3s(TYP.)注10
バルブ出力更新周期 1ms
圧力 動作差圧範囲
 注4
周囲温度:
-10≦t≦40℃
20〜200kPa 50〜300kPa 100〜300kPa 50〜300kPa 100〜300kPa 注11 180〜300kPa 注11 注12
周囲温度:
40<t≦50℃
20〜200kPa 100〜300kPa 150〜300kPa 注6 100〜300kPa 150〜300kPa 注11 使用不可
標準差圧(出口圧=0kPa(gauge))
 注5
100kPa 200kPa
許容入口圧 0.5MPa(gauge)以下
耐圧 1MPa(gauge)
圧力影響
(水平設置、空気にて 100kPaあたり)
±1.0% FS以下 ±0.5% FS以下 ±0.2% FS以下 ±0.2% FS以下 ±0.2% FS以下 ±0.2% FS以下
温度 許容動作温度範囲 -10〜+50℃
許容保存温度範囲 -20〜+70℃
温度影響 1℃あたり ±0.2% FS以下 1℃あたり ±0.1% FS以下
湿度 許容動作湿度範囲 10〜90% RH(結露なきこと)
許容保存湿度範囲 10〜90% RH(結露なきこと)
外部リーク ヘリウムリークレート 1x10-8 Pa・m3/s
流量設定用
アナログ
入力
分解能
3,000
入力レンジ DC 0〜5V (出荷時設定) 上位通信または専用PCローダにて DC 1〜5V、4〜20mA に変更可能
サンプリング周期 5msec
入力インピーダンス 電圧入力:1MΩ±10% 電流入力:250Ω±10%
瞬時流量用
アナログ
出力
分解能 10,000
出力レンジ DC 0〜5V (出荷時設定) 上位通信または専用PCローダにて DC 1〜5V、4〜20mA に変更可能
出力更新周期 5msec
最大出力 110% 以上(120% 以下)
外部負荷抵抗 電圧出力時:250kΩ以上 電流出力時:300Ω以下
外部接点
入力
入力点数 用途 1点 「バルブ強制開」「バルブ強制閉」「流量ゼロ補正」「アラームリセット」(設定で変更可能)
相手側回路形式 無電圧接点 または オープンコレクタ
接点オフ時端子電圧 4.5 ± 1 V
接点オン時端子電流 約 0.5 mA
許容オン残留電圧 0.8 V 以下
許容オフ漏れ電流 50 μA 以下
デジタル
出力
出力点数 1点
出力定格 DC 30 V、30 mA max(オープンコレクタ非絶縁出力)
オフ漏れ電流 50 μA max (Vcc=30V 25℃)
オン残留電圧 1 V max
通信仕様 接続可能台数 31台
通信方式 RS485(3線式)
プロトコル CPL通信、Modbus RTU(手配時に形番によりどちらかを選択)
通信速度 9600 19200 38400bps
接続 RJ45 x 2
電源 定格 DC24V 消費電流300mA max
許容電源電圧範囲 DC 22.8〜25.2V(リップル5%以下)
アイソレーション 電源回路と入出力回路は絶縁されています。
接続方式 9/16-18UNF , Rc1/4 , 1/4Swagelok相当 , 1/4VCR相当
取付姿勢 水平取付のみ 注8
(トップパネルが下向きにならないこと)
水平取付(トップパネルが下向きにならないこと)または垂直取付 注7
主な接ガス部材質 標準ガスモデル/酸素モデル:SUS316,フッ素樹脂,フッ素ゴム
質量 約700g (継手除く)
適合規格・規制・認証 EN61326-1 2013、EN61326-2-3 2013 注9 韓国S-mark
注1: mL/min およびL/minは0℃ 101.325kPa(1気圧)に換算した1分間あたりの体積流量を表します。ガス種類により制御可能な流量レンジが異なります。
注2: 塩素、硫黄。酸などの腐食成分を含まない乾燥気体であること。また、ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること。
注3: 基準条件における当社設備との器差です。
注4: 動作差圧範囲以下でも動作可能ですが、制御可能な流量レンジが狭くなります。
注5: 製品校正時の差圧
注6: 電源電圧がDC23.5V以下に下がらないようにしてください。
注7: 流れ方向が垂直方向の姿勢では誤差が生じます。機能コード「C-34 :配管姿勢設定」の設定値を設置状態に合わせて変更した後、パラメータコード 「P-23 :一次圧指定」」のパラメータ値を使用している圧力に合わせて変更してください。
注8: F4H9050 は垂直取付不可
注9: EMC試験中に、±5% FSに相当する指示値や出力値の変動が生じる場合があります。
注10: F4H0020は設定C-36(動作差圧設定)を「0:低差圧」に設定した場合。
注11: 電源電圧23.5〜25.2Vの範囲で使用ください。
注12: 最大動作差圧は、電源電圧によって変わります。次のグラフをご覧ください。
アルゴンでの動作差圧範囲は250〜300kPaです。

■ さらに詳しい情報はこちら

気体流量計



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