吸着確認用フローセンサ MCS【株式会社山武】

製品情報

MCS

■ 形番：MCS

■ 品名：吸着確認用フローセンサ

■ この製品の特徴：

吸着確認用フローセンサMCSシリーズは、微小チッ
プ部品の吸着確認を独自開発の質量流量センサにて
実現した製品です。
また、吸着確認用途以外の様々な流量計測ニーズに
もお応えします。

■ 仕様：

流量レンジ	-3～+3L/min、0～+3L/min、-0.5～+0.5L/min、0～+0.5L/min、0～+10L/min　（at　1気圧、20℃）
計測対象気体	空気／窒素　　ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト（オイルミスト）を含まない清浄気体であること。
出力信号	1～5VDC　（ノンリニア特性）
応答性	5ms以下　（ステップ状の流量変化に対する95%応答）
配管接続	M5めねじ
外形寸法	33.5（L）×17（H）×10.5（W）mm
重量	9g
本体材質	PPS樹脂

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■ オプション部品

コネクター付きケーブル2m　（形番：81446888-001）

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