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| 形番 |
MPC9500 |
MPC0002 |
MPC0005 |
MPC0020 |
| バルブ方式 |
比例ソレノイドバルブ |
| バルブ動作 |
非通電時-閉(N.C.) |
| 標準フルスケール流量 |
0.500 |
2.00 |
5.00 |
20.0 |
| (窒素換算値) |
L/min(standard) |
L/min(standard) |
L/min(standard) |
L/min(standard) |
| 標準対応ガス種類 |
窒素/空気,アルゴン,炭酸ガス(CO2) |
| 但し,塩素,硫黄,酸等の腐食成分を含まない乾燥気体であること。 |
| また,ダストおよびオイルミストを含まない清浄気体であること。 |
| 圧力 |
動作差圧範囲 |
0.3MPa以下 |
0.05〜0.3Mpa |
| 耐圧 |
0.5MPa(gauge) |
| 流量設定 |
設定方法 |
(1)キー操作(2)外部設定電圧入力(アナログ入出力機能付きモデルだけ)
(3)通信(RS-485通信機能付きモデルだけ) |
| イベント出力 |
出力数 |
2点 |
| 外部接点入力 |
入力数 |
2点 |
| 電源 |
定格 |
DC 24V,消費電流300mA最大 |
| 接ガス部材質 |
黄銅(ニッケルめっき),ステンレス,テフロン,フッ素ゴム |
| 接続方式 |
Rc1/8 |
| 質量 |
約300g |
| 標準価格 |
オープンプライス(最寄の弊社支社・営業所までお問い合わせください) |
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