デジタルマスフローコントローラ MQV【株式会社山武】

製品情報

CMQ-V

■ 形番：MQV

■ 品名：デジタルマスフローコントローラ

■ この製品の特徴：

デジタルマスフローコントローラCMQ-Vシリーズは、
検出部に弊社独自開発の熱式流速センサである
「μＦセンサ（マイクロフローセンサ）」を使用し、
高度なPID制御技術にて比例アクチュエータを駆動
する高性能な気体用質量流量コントローラです。
高速制御、低差圧動作、広い流量制御範囲の実現な
ど、最先端のニーズにしっかりお応えします。
多彩な製品バリエーションをご用意し、お使いいた
だけるアプリケーションがさらに広がりました。


* CMQ-Vの形番はMQV～ではじまります。

■ 仕様：

◆標準ガスモデル
形番	MQV9005	MQV9020	MQV9200	MQV9500	MQV0002	MQV0005	MQV0020	MQV0050(B,C)	MQV0050(J,K)	MQV0200	MQV0500
標準フルスケール流量 *1	5mL/min (standard)	20mL/min (standard)	200mL/min (standard)	0.5L/min (standard)	2L/min (standard)	5L/min (standard)	20L/min (standard)	50L/min (standard)	50L/min (standard)	200L/min (standard)	500L/min (standard)
	standard とは、20℃・1気圧（101.325kPa）の流量に換算した値です。
対応ガス種類 *2	空気、窒素、酸素、アルゴン		空気、窒素、酸素、アルゴン、炭酸ガス、都市ガス13A(LNG：45MJ/m3、46MJ/m3)、メタン、プロパン、ブタン
	ただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること。
制御範囲	2 ～ 100%FS	1 ～ 100%FS
応答性（標準差圧にて）	設定±2 %FS以内に 0.5s(TYP.)		設定±2 %FS以内に 0.3s(TYP.)						設定±2 %FS以内に 0.7s(TYP.)
	（全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時）
精度（標準温度・標準差圧にて、Q：流量） *3	±1％FS		(1) 標準品：±0.5％FS（0％FS≦Q≦50％FS） ±1％FS（50％FS＜Q≦100％FS）						(1) 標準品：±0.5％FS（0％FS≦Q≦40％FS） ±1％FS（40％FS＜Q≦80％FS） ±1.5％FS（80％FS＜Q≦100％FS）
	高精度には対応していません		(2) 高精度品：±0.2％FS（0％FS≦Q＜20％FS） ±1％SP（20％FS≦Q≦100％FS）						高精度には対応していません	(2) 高精度品：±0.3％FS（0％FS≦Q＜25％FS） ±1.2％SP（25％FS≦Q＜80％FS） ±1.5％SP（80％FS≦Q≦100％FS）
			％SPは流量設定値に対する制御流量の精度を表します。
アラーム・イベント出力	アラーム出力：1点、イベント出力：2点
定格電圧	DC24V、消費電流300mA 最大								DC24V、消費電流400mA 最大		DC24V、消費電流500mA 最大
アイソレーション	電源回路と入出力回路は絶縁されています。
質量	約1100g		約1200g						約3500g

	＊1	空気/窒素の場合。各ガス種毎の流量レンジは【さらに詳しい情報：気体流量計】をご覧ください。
	＊2	アンモニア、アセチレン、エチレン・オキサイド・ガス　につきましては、準標準ガスモデルにて対応しております。詳細は【さらに詳しい情報：気体流量計】をご覧ください。
	＊3	空気／窒素および酸素（酸素ガス対応品）での精度です。その他のガスで使用した場合の精度については当社にお問い合わせください。

◆水素・ヘリウムガスモデル
形番	MQV9020	MQV9050	MQV9500	MQV0005	MQV0010	MQV0050	MQV0200	MQV0500	MQV1000
標準フルスケール流量（水素の場合）	20mL/min (standard)	50mL/min (standard)	0.5L/min (standard)	5L/min (standard)	10L/min (standard)	50L/min (standard)	200L/min (standard)	500L/min (standard)	1000L/min (standard)
	standard とは、20℃・1気圧（101.325kPa）の流量に換算した値です。
対応ガス種類	水素、ヘリウムただし、腐食成分（塩素、硫黄、酸など）を含まない乾燥気体であること。また、ダストやオイルミストを含まない清浄気体であること。
制御範囲	1 ～ 100%FS
応答性（標準差圧にて）	設定±2 %FS以内に 0.5s(TYP.)		設定±2 %FS以内に 0.3s(TYP.)					設定±2 %FS以内に 0.7s(TYP.)
	（全閉状態から制御を開始した時および制御中に設定を変更した時）
精度　（標準温度・標準差圧にて、Q：流量）	±0.5％FS（0％FS≦Q≦50％FS） ±1％FS（50％FS＜Q≦100％FS）	±1％FS（0％FS≦Q≦100％FS）	±0.5％FS（0％FS≦Q≦40％FS） ±1％FS（40％FS＜Q≦80％FS） ±2％FS（80％FS＜Q≦100％FS）					±1％FS（0％FS≦Q≦80％FS） ±2％FS（80％FS＜Q≦100％FS）
アラーム・イベント出力	アラーム出力：1点、イベント出力：2点
定格電圧	DC24V、消費電流300mA 最大							DC24V、消費電流400mA 最大
アイソレーション	電源回路と入出力回路は絶縁されています。
質量	約1100g		約1200g					約3500g