| 形番 |
MVF050 |
MVF080 |
MVF100 |
MVF150 |
| 口径 |
50A |
80A |
100A |
150A |
| 流量レンジ（使用圧力により質量流量レンジは異なります） |
圧力0.1MPa時 |
8〜428m3/h(normal) |
11〜946m3/h(normal) |
15〜1457m3/h(normal) |
32〜3135m3/h(normal) |
| 圧力0.3MPa時 |
9〜854m3/h(normal) |
19〜1886m3/h(normal) |
30〜2904m3/h(normal) |
63〜6249m3/h(normal) |
| 圧力0.5MPa時 |
13〜1280m3/h(normal) |
29〜2826m3/h(normal) |
44〜4352m3/h(normal) |
94〜9364m3/h(normal) |
| 圧力0.7MPa時 |
18〜1706m3/h(normal) |
38〜3765m3/h(normal) |
58〜5799m3/h(normal) |
125〜12478m3/h(normal) |
| 圧力0.98MPa時 |
23〜2302m3/h(normal) |
51〜5081m3/h(normal) |
79〜7825m3/h(normal) |
169〜16838m3/h(normal) |
| 対応ガス種類 |
空気、窒素、アルゴン、酸素（禁油処理付き形番を選択ください）、炭酸ガス、都市ガス13A、メタン、プロパン、ブタン
その他不活性ガス および各種混合ガスで爆発限界範囲外のガス |
| 体積流量精度 |
14m3/h(normal)以上にて±2%RD |
20m3/h(normal)以上にて±2%RD |
29m3/h(normal)以上にて±2%RD |
52m3/h(normal)以上にて±2%RD |
| 空気の場合、23℃、0.5MPaにおける体積流量にて。使用圧力と流量域により異なります。 |
| 温圧補正後の精度 |
圧力0.5MPa時、75m3/h(normal)にて±3.3%RD |
圧力0.5MPa時、110m3/h(normal)にて±3.3%RD |
圧力0.5MPa時、157m3/
h(normal)にて±3.3%RD |
圧力0.5MPa時、287m3/h(normal)にて±3.3%RD |
| 使用圧力と流量域により異なります。圧力センサはゲージ圧センサを使用しているため大気圧変動誤差は含んでおりません。 |
| 最小測定流量（圧力0.1MPa時） |
8m3/h(normal) |
11m3/h(normal) |
15m3/h(normal) |
32m3/h(normal) |
| 使用圧力範囲 |
形番：MVF***1SU*011**00 ： 0〜0.1MPa（±2%FS @23℃）
形番：MVF***3SU*011**00 ： 0〜0.3MPa（±2%FS @23℃）
形番：MVF***0SU*011**00 ： 0〜1.0MPa（±1%FS @23℃） |
| 接続 |
ウエハ接続 |
| 電源 |
DC24V |
| 質量(kg) |
7 |
8 |
10 |
23 |
