PBZは、レーザー平行光とCMOSリニアイメージセンサ を活用した、フィルムやガラス基板などのエッジ計 測に特化したレーザーセンサです 用途 ・フィルムの蛇行計測 ・ガラス基板の端面による位置計測 ・ウェハの偏芯及びノッチ計測 上記用途に必要な機能だけを装備し、簡単・高精度 に計測が可能です。