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モジュール形調節計 AHC2001
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浸炭炉、焼成炉などの各種熱処理炉
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モジュール形調節計 AHC2001
アプリケーションのご紹介
■ 浸炭炉、焼成炉などの各種熱処理炉
ポイント
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ブラインド化による省スペースの実現
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燃焼式熱処理炉に不可欠な空燃比制御が演算ブロックの組合せで可能 クロスリミット制御など豊富なサンプルアプリケーションのご提供が可能
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機械制御用コントローラと温度・流量などアナログ量を扱うコントローラと分散が可能
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プログラム設定機能により、温度とガス流量の同期制御が可能
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温度制御に加え、雰囲気ガスの細かな流量制御が可能なように多ループ制御にも対応
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浸炭炉、焼成炉などの各種熱処理炉
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CVD・酸化拡散炉など各種半導体ヒーティングプロセス装置
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培養装置など
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調合装置・反応装置など
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ようこそ! 様
モジュール形調節計 AHC2001
概要
新着情報
製品特長
アプリケーション
RoHS指令への対応
仕様
導入事例