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モジュール形調節計 AHC2001 |
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■ CVD・酸化拡散炉など各種半導体ヒーティングプロセス装置 |
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ポイント |
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ウエハ載置時などに起こる降温外乱即応性を失わず、オーバーシュートを抑制する制御アルゴリズムを適用 −高速制定ロジック Just FiTTER |
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ウエハ載置時などに起こる降温外乱を補正するため、フィードフォワード制御などの組み込みも可能 |
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マスタ：チャンバー内温度、スレーブ：ヒータ温度からなるカスケード制御専用アルゴリズムを搭載しより安定した制御が可能 燃焼式熱処理炉に不可欠な空燃比制御が演算ブロックの組合せで可能 クロスリミット制御など豊富なサンプルアプリケーションのご提供が可能 |
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高速制定ロジック Just FiTTER |
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