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パーティクルモニター |
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■ クリーンルームとは？ |
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汚染制御が行われている空間であって、空気中における浮遊微小粒子、浮遊微生物が限定された清浄度レベル以下に管理され、また、その空間に供給される材料､薬品、水などについても要求される清浄度が保持され、
必要に応じて温度、湿度、圧力などの環境条件についても管理が行われている空間を指します。
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| 汚染物質 |
代表例 |
| 粒子状物質 |
粉じん、煙、ミスト、ヒューム |
| ガス状物質 |
酸性ガス、塩基性ガス、有機物質、その他の有害ガス |
| 浮遊状物質 |
藻、原生動物、菌、バクテリア、リケッチア、ウイルス |
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■ クリーンルームの種類（ＩＣＲ／ＢＣＲ） |
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■ クリーンルームの形式 |
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| 乱流（コンベショナル）方式 |
| ［クラス 100〜200,000］ |
| 乱流（コンベショナル）方式は、天井の各所に配置しているＦＦＵより、壁面下側にある吸込口を利用して室内の空気循環をする方式です。
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| 水平層流（クロスフロー）方式 |
| ［クラス 100〜1,000］ |
| 水平層流（クロスフロー）方式は、壁側に設置をしたＦＦＵから反対壁面に向かって水平一方向に空気を循環する方法です。
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| 垂直層流（ダウンフロー）方式 |
| ［クラス 100〜1,000］ |
| 垂直層流（ダウンフロー）方式は、天井前面にＦＦＵを設置して垂直方向に吹き出し全の床面で吸込みし循環をする方式です。
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■ クリーンルームに必要な条件 |
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■ クリーンルームのミニエンバイロメントとは？ |
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