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パーティクルモニター |
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■ 空気中の微粒子と汚染レベル |
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空気の清浄度は、空気中に浮遊する微粒子の数によって等級分けしています。
JISやISOでは、1m3の空気中に含まれる粒径0.1μm以上の微粒子数を10のべき乗で表したべき指数です。
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■ ＩＳＯの動向 |
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クリーンルームの清浄度は現状のＦｅｄ規格より、ＩＳＯ規格に統一されて
測定粒子も０．１μｍから５μｍまで範囲を広げた。
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■ 清浄度とクラス表示 |
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ＩＳＯ清浄度
クラス(N) |
上限濃度「個／ｍ３」は、以下の示す対象粒子径以上の粒子濃度を示している
(個/m3) |
| ０．１μｍ |
０．２μｍ |
０．３μｍ |
０．５μｍ |
１μｍ |
５μｍ |
| ＩＳＯクラス１ |
10 |
2 |
− |
− |
− |
− |
| ＩＳＯクラス２ |
100 |
24 |
10 |
4 |
− |
− |
| ＩＳＯクラス３ |
1,000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
− |
| ＩＳＯクラス４ |
10,000 |
2,370 |
1,020 |
352 |
83 |
− |
| ＩＳＯクラス５ |
100,000 |
23,700 |
10,200 |
3,520 |
832 |
29 |
| ＩＳＯクラス６ |
1,000,000 |
237,000 |
102,000 |
35,200 |
8,320 |
293 |
| ＩＳＯクラス７ |
− |
− |
− |
352,000 |
83,200 |
2,930 |
| ＩＳＯクラス８ |
− |
− |
− |
3,520,000 |
832,000 |
29,300 |
| ＩＳＯクラス９ |
− |
− |
− |
− |
8,320,000 |
293,000 |
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■ 市場別クリーン度 |
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