レーザセンサ　エッジ計測センサ　PBZ【株式会社山武】

レーザーセンサ

製品ラインアップ：エッジ計測センサ　PBZ

■ 概要

7mm光軸幅タイプ

30mm光軸幅タイプ

PBZはレーザー平行光とCMOSリニアイメージセンサを活用した、フィルムやガラス基板などのエッジの位置計測に特化したレーザーセンサです。

用途
・	フィルムの蛇行計測及び巻きずれ
・	検査液晶、PDPなど、ガラス基板の端面による位置計測
・	ガラスウエハの変芯及びノッチ（オリフラ）の角度計測

上記用途に必要な機能だけを装備し、簡単、高精度で計測が可能です。

■ 特長

	・	高精度
		平行度の高い光学系と当社独自のＦＤＮアルゴリズム採用により、繰り返し精度±5μｍ以下を実現しました。

	・	安全
		ＪＩＳクラス1レーザー光ですので、特別な保護などは必要ありません。

	・	アプリケーションに適した便利な機能
		液晶やＰＤＰなど、ガラス基板のアライメント用に、Θ演算機能やチッピング検出機能などを装備しています。

フレネル回折とは?

光は、ナイフやフィルムなど薄い物体のエッジで回折する。受光部における回折光の強度分布は、ワークと受光部間の距離 :Zに依存する。

FDNｱﾙｺﾞﾘｽﾞﾑは、任意のZ(ﾜｰｸ/受光部間距離)に対して、高精度なエッジ位置を演算するアルゴリズムです。

特許出願中

繰り返し精度±1μm
移動精度±20μmを実現
(いずれも7mmタイプ)

レンズ面の汚れ（又は検出体の透明度）によって受光光量が減衰すると、出力値が変化する。

受光光量が減衰しても、リニアイメージセンサへの入光位置が変わらなければ、出力値は変化しない。

■ アプリケーションに特化した各種機能

・

7mmタイプ(PBC-201VN^*)


	タブ等の突起物を計測せず、フイルムのエッジのみを計測できます。
	現在の計測値が、設定された時間(出力遅延時間)前の値と比較して、設定された値(読み飛ばし設定値)以上変化した場合、変化前の値をホールドしアナログ出力します。

	タブを検出してフィルムの蛇行制御をしてしまうことを避ける機能

・

30mmタイプ(PBC-203VN2)

Θ演算機能		チッピング検出機能（位置変化出力）

ガラスエッジの位置変化から、傾きΘを演算して出力します。計測範囲±3°		位置変化時間：Tと位置変化量：Lを設定し、設定された勾配以上の変化があった場合にDO出力します。

■ アプリケーション

フィルムの蛇行計測		ウェハーのアライメント		ガラス基板のアライメント

■ 仕様

	7mmタイプ			30mmタイプ　new
	センサヘッド	コントローラ		センサヘッド		コントローラ
形番：センサ	PBZ-CL007V	PBC-201VNO	PBC-201VN2	PBZ-CL030	PBZ-CL030V	PBC-203VN2
測定幅	7mm			30mm
測定距離	10～300mm			10～500mm
WD	10～290mm			10～490mm
移動精度	±20μm以下　*1			±50μm以下　*3
繰返し精度	±1μm以下　*2			±5μm以下　*4
アナログ出力更新周期	-	500μs		-		10ｍs
センサ部温度特性	0.1%FS/℃	-		0.1%FS/℃		-
使用温度範囲	0～45℃
使用周囲湿度	30～85%RH
電源電圧	-	24VDC±10%		-		24VDC±10%
アナログ出力	-	DC1～5Vまたは±5V：2出力		-		DC1～5Vまたは±5V：2出力
イベント出力	-	シンクタイプトランジスタ出力：4点		-		シンクタイプトランジスタ出力：4点
外部入力	-	2点		-		2点
デジタル表示	-	7セグ4桁		-		7セグ4桁
光源	可視半導体レーザー：JISクラス1	-		可視半導体レーザー：JISクラス1		-
保護構造	IP40	-		IP40		-
通信	-	-	RS485	-		RS485

*1 投受光間距離＝20㎜、WD=10mm、検出体位置＝測定幅中心位置から0.5㎜移動時
*2 投受器間距離＝20㎜、WD=10mm、検出体位置＝測定幅中心位置の3.5㎜で20回平均時
*3 投受光間距離＝100㎜、WD=50mm、検出体位置＝測定幅中心位置から0.5㎜移動時
*4 投受器間距離＝100㎜、WD=50mm、検出体位置＝測定幅中心位置の15㎜で20回平均時

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