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気体流量計/ガスミキサ |
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マイクロマシニング技術を結集したマイクロフローセンサは、流量測定に必要なセンサ、ヒータ類を１チップ化したもので、センサそのものが気体の質量流量を直接計測できます。
応答性 2msec、計測範囲 300:1 最小計測流速 1cm/secなど、従来の計測センシング技術では得にくいような性能を実現しました。山武の質量流量計シリーズはすべてこのマイクロフローセンサを搭載し、高性能な気体流量計測・制御機器をご提供しております。
分類としては、熱式気体流量計（サーマル式流量計、サーマルフローメータともいう）に属する方式ですが、熱応力や流れの力による位置ズレがほとんどないため、長期に安定して、空気、ガス流量計測を行うことができます。 |
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マスフローメータ |
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生産工程、試験装置などで使用する空気、各種工業ガスの流量管理 また、大流量マスフローメータでは、工場エアの工場又は棟別使用量管理や
工業ガスの使用量管理、取引用計量などに |
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マスフローコントローラ |
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工場生産工程でのガラス、ロー付け加工等の燃焼炎の安定化などを目的とした、ガス、酸素、空気各々の流量制御 |
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エア管理用メータ |
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工場エアー（圧縮空気）の部門別使用量、コスト管理や装置の適正使用量把握、エアー漏れの把握に |
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ガス流量モニタ |
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業務用ガスボイラ、工業炉など燃焼装置のガス使用量管理 |
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中圧ガスメータ |
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ガス取引用計量に |
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ガスミキサ |
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都市ガス成分の製造、模擬バイオガスの製造、燃焼実験などに |
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●ご希望の用途は？
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流量を計測・
監視する |
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産業ガス、エアー用途
マスフローメータ |
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流量レンジ
〜1500L/min |
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Model：CMS用
マルチチャンネル
集中表示器 |
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流量レンジ
〜1600m3/h |
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燃焼用ガス、エアー用途
ガス流量モニタ |
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流量レンジ
〜150m3/h |
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エアー、窒素用途
エア管理用メータ |
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流量レンジ
〜12000L/min |
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医療用ガス用途
医療用ガスメータ |
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流量レンジ
〜160m3/h |
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都市ガス取引用途
中圧ガスメータ |
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流量レンジ
〜1600m3/h
電池式 |
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産業ガス、エアー用途
マイクロフロー式
渦流量計 |
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流量レンジ
〜16,839m3/h |
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チップ部品の吸着用途
吸着確認用
フローメータ |
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流量レンジ
-3〜3、0〜3、
-0.5〜0.5、
0〜10L/min |
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流量を
制御する |
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マスフローコントローラ |
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パネルマウントマスフローコントローラ |
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| ガスを混ぜる |
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ガスミキサ |
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