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気体流量計/気体流量センサ

概要

マイクロマシニング技術を結集したマイクロフローセンサは、流量測定に必要なセンサ、ヒータ類を1チップ化したもので、センサそのものが気体の質量流量を直接計測できます。 応答性 2msec、計測範囲 300:1 最小計測流速 1cm/secなど、従来の計測センシング技術では得にくいような性能を実現しました。アズビル株式会社の質量流量計シリーズはすべてこのマイクロフローセンサを搭載し、高性能な気体流量計測・制御機器をご提供しております。

分類としては、熱式気体流量計(サーマル式流量計、サーマルフローメータともいう)に属する方式ですが、熱応力や流れの力による位置ズレがほとんどないため、長期に安定して、空気、ガス流量計測を行うことができます。

気体流量計の用途

マスフローメータ 生産工程、試験装置などで使用する空気、各種工業ガスの流量管理 また、大流量マスフローメータでは、工場エアの工場又は棟別使用量管理や 工業ガスの使用量管理、取引用計量などに
マスフローコントローラ 工場生産工程でのガラス、ロー付け加工等の燃焼炎の安定化などを目的とした、ガス、酸素、空気各々の流量制御
エア管理用メータ 工場エアー(圧縮空気)の部門別使用量、コスト管理や装置の適正使用量把握、エアー漏れの把握に
ガス流量モニタ 業務用ガスボイラ、工業炉など燃焼装置のガス使用量管理
中圧ガスメータ ガス取引用計量に
マスフローセンサ 理科学機器、エアサンプラ、ガス分析器、ガス検知器での吸引流量計測、および電子部品・光学部品の真空吸着確認などに

●ご希望の用途は?
流量を計測・
監視する

産業ガス、エアー用途
マスフローメータ

流量レンジ
〜1500L/min
Model:CMS
流量レンジ
〜1600m3/h
Model:CML
 

燃焼用ガス、エアー用途
ガス流量モニタ
流量レンジ
〜150m3/h
Model:CMG
 

エアー、窒素用途
エア管理用メータ
流量レンジ
〜12000L/min
Model:MCF
 

医療用ガス用途
医療用ガスメータ
流量レンジ
〜160m3/h
Model:CMF
 

都市ガス取引用途
中圧ガスメータ
流量レンジ
〜1600m3/h
電池式
Model:CMP
 

産業ガス、エアー用途
マイクロフロー式
渦流量計
流量レンジ
〜16,839m3/h
Model:MVF
 
チップ部品の吸着、
エアサンプラー用途

マスフローセンサ
流量レンジ
〜10L/min
Model:MCS
流量を
制御する

マスフローコントローラ
Model:MQV
 

小型デジタルマスフローコントローラ
Model:F4H
パネルマウントマスフローコントローラ
Model:MPC


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