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気体流量計 |
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製品ラインアップ：ガスミキサー IGM：ご選定／お見積もり |
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ご希望の内容を入力（選択）し、送信いただければ、適合する機種、価格のご連絡をいたします。 |
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■ 最大流量選定表 |
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各々のマスフローコントローラ(MFC）の最大流量値になります。
ご使用のガス種類、流量をご確認ください。 |
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流量単位
mL/min |
流量単位 L/min |
| 搭載MFC機種 |
MQV9200 |
MQV9500 |
MQV0002 |
MQV0005 |
MQV0010 |
MQV0020 |
MQV0050 |
MQV0200 |
MQV0500 |
| 空気、窒素 |
200 |
0.5 |
2 |
5 |
無し |
20 |
50 |
200 |
500 |
| アルゴン |
200 |
0.5 |
2 |
5 |
無し |
20 |
50 |
200 |
500 |
| 炭酸ガス |
120 |
0.3 |
1.2 |
3 |
無し |
12 |
30 |
120 |
400 |
| 酸素 |
200 |
0.5 |
2 |
5 |
無し |
20 |
50 |
200 |
500 |
| 都市ガス13A |
200 |
0.5 |
1.6 |
5 |
無し |
20 |
50 |
180 |
400 |
| メタン100% |
200 |
0.5 |
2 |
5 |
無し |
20 |
50 |
200 |
500 |
| エタン100% |
90 |
0.22 |
0.9 |
2.2 |
無し |
9 |
22 |
90 |
220 |
| プロパン100% |
60 |
0.16 |
0.6 |
1.6 |
無し |
6 |
16 |
60 |
200 |
| ブタン100% |
50 |
120
mL/min |
0.4 |
1.2 |
無し |
4 |
10 |
50 |
160 |
| 水素100% |
無し |
0.5 |
無し |
5 |
10 |
無し |
50 |
200 |
500 |
| ヘリウム100% |
無し |
0.5 |
無し |
5 |
10 |
無し |
50 |
200 |
500 |
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■ 最小流量 |
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最大流量の1/100となります。 |
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