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流量値設定モード
各ガスを任意の流量に設定が可能です。
また、画面上に各ガスの合計流量を表示します。
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比率設定モード
総流量と各ガスの比率を入力することで自動的に流量値が設定されます。
全ガスの比率設定が完了し、書き込みすることで設定が完了します。
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モード切替
ガスの混合中にモードを切り替えることができます。流量値設定モードから比率設定モードに移った場合総流量と比率設定が完了するまでは、流量値設定モードにて設定された値がそのまま継続されます。比率設定モードから流量値設定モードに移った場合は比率設定モードで設定された流量値がそのまま反映されます。
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レシピ機能
各モードにおいて、最大20品種まであらかじめ設定値を登録することができます。登録された値はキー操作により反映させることができます。
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ガス供給/停止操作
ガス供給/停止機構オプションに電磁弁を選択しますと、ガス供給/停止操作を行うことができます。
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パージ操作
パージ機構オプションを電磁弁もしくは手動弁を選択しますとパージ操作を行うことができます。
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圧力表示・警報機能保証範囲
圧力計オプションを選択しますと、圧力計からの信号を表示することができます。
また、警報設定をすれば、画面上に警報表示を行なうことができます。
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警報履歴表示機能
マスフローコントローラの異常や流量値の異常の履歴表示を行なうことができます。日付・時刻・警報内容が画面上に表示されます。
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トレンド表示機能
各ガスの流量値のトレンド表示をすることができます。トレンド表示データは、タッチパネルに内蔵されたコンパクトフラッシュカードに自動保存されます。お客様にてコンパクトフラッシュを取り出し、パソコンにデータをコピーすれば、CSV形式により保存データの編集が行なえます。 |
