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気体流量計

製品ラインアップ：吸着確認用フローセンサ MCS100

■ 微小チップ部品の吸着確認を独自開発の流量センサにて実現！

製品特長

・ 小形・軽量化を実現し、ノズル近傍への設置が可能です。
・ 5msec以下の高速応答で高速タクトの吸着確認に対応します。
・ 質量流量計測のため、吸引圧力変動の影響を受けません
・ アナログ出力により、フィルタの詰まり、ノズルの潰れが検知できます。
さらに詳しい製品特長のご紹介
Model：MCS接続用マルチチャンネル表示器MCW400のご紹介


製品仕様一覧

吸着確認用フローセンサ MCS100シリーズ 製品仕様一覧  ( PDF / 184 KB )



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