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1) |
圧力センサと比較して、開放状態と吸着状態での出力差が大きく取れます。
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2) |
流量計測のため、圧力センサのように吸引圧力の変動注）による検出不良がなくなります。
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3) |
フローセンサをノズルの真上（ノズルとエジェクタの間の空気配管に直付け）に設置できるため、応答性を速められると同時に、 吸着確認位置を選びません。
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4) |
出力はアナログ信号のため、吸着ノズルが交換されても、設定をコントローラ側で一元管理できます。
また、ノズルの下流側に設置されているフィルタの詰まり具合やノズル先端部の潰れをノズル開放時（吸着していない状態）の初期流量にて検出できます。
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5) |
チップ実装時に正圧（破壊圧力）を掛ける際、弊社フローセンサでは正逆両方向（吸着、実装）の流量計測ができるため、吸着確認と共に実装時（破壊圧力印加時）のワーク持ち帰り確認も可能です。 |
