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気体流量計 |
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製品ラインアップ：デジタルマスフローコントローラ Model：CMQ-V微小流量タイプ |
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■ フルスケール流量 |
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5mL/min, 20mL/min 【空気/窒素、酸素、アルゴン】
20mL/min, 50mL/min 【水素、ヘリウム】
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| ■ 精度 |
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±1％FS |
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| ■ 再現性 |
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±0.5％FS |
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■ 特長 |
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| 500msecの高速制御 |
（全閉⇒設定値、設定値変更時）
全流量域で500msecの高速制御を実現し、ガス供給圧力変動や背圧変動の影響を受けずに安定して流量を制御できます。 |
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| 高い耐環境性と使い易さ |
| 制御機器メーカーとしてのノウハウを活かし、従来は外部での対策が必要であった高周波ノイズへの耐性を高めました。 また、-10〜60℃の広い使用温度範囲でお使えいただけます。
38,400bpsの高速通信機能、PCローダ対応など、使い易さにも配慮した設計としています。
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| 多彩な機能により計装コスト低減 |
PLC等の外部機器でプログラムしていたシーケンス処理・演算をMQV内部で実現できます。このため計装コストの低減が可能です。
多彩な機能は標準装備です。（CMQ-V標準モデルと同様） |
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■ アプリケーション例 |
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RF電源などから発生する高周波ノイズへの耐性が高く、また高速制御により炉内の真空圧変動の影響を受けずに安定した流量制御を実現可能。 |
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炉内圧力変動の影響を受けずに全流量域で高速制御を実現していますので、炉内雰囲気を安定して制御できます。 |
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新規に開発した微少流量用MEMSフローセンサの採用により、信頼性の高い評価が行えます。
また独自の流量基準（ソニックノズル・質量法の組合せ）を構築し、高いトレーサビリティ体制を確立しています。 |
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