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気体流量計

山武グループ 技術研究報告・・・セーブメーション・レビュー

■ 「マイクロフローセンサ」特集号

「マイクロフローセンサ」の基本メカニズムと流量計測原理、センシング応用技術並びに本センサを用いた各種流量計の開発を中心として編集しております。

これらの記事は、2001年1月、山武グループ/技術研究報告 セーブメーション・レビュー「マイクロフローセンサ」特集号に掲載されたものです。
製品の改良や仕様変更に伴い、掲載の内容が現在とは異なる場合がございますがご了承ください。
なお、Model:CMRは2007年秋販売中止とさせていただきました。

1. 「マイクロフローセンサ」チップ製作技術  ( PDF / 568 KB  )
2. 「マイクロフローセンサ」を用いた流量計測  ( PDF / 145 KB  )
3. 汎用小形気体流量計(CMS,CMR)の開発  ( PDF / 624 KB  )
4. デジタルマスフローコントローラー Model:CMQの開発  ( PDF / 4,013 KB  )
5. 大容量気体質量流量計CMLの開発  ( PDF / 276KB  )
6. ガス流量モニタの開発  ( PDF / 111 KB  )
7. カルマン渦流量計(CMK)の開発  ( PDF / 483 KB  )

本誌からの無断転載・複製はご遠慮ください。
本誌に記載した名称のなかには、弊社が商標として使用している場合があります。


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