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光電センサ |
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製品ラインアップ：漏液ファイバセンサ HPF-D040 |
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■ 概要 |
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漏液ファイバ センサ HPF-D040は、ファイバアンプとの組み合わせで主に半導体製造装置、FPD製造装置において液体の漏れを検出し、いち早く装置の異常確認を行うセンサです。
主に有機溶剤系など引火性のある薬液の漏液検出で防爆対応が必要な箇所でご使用いただけます。
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■ 特長 |
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薬液対応
接液部のケース、ブラケットはPFA、ブッシュはSUSを採用し、ケーブルはPFAチューブで保護、引き回しエリアでの薬液の飛散などにも対応します。
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防爆対応
防爆性が求められる際、アンプユニットを非防爆場所に設置いただくことで対応が可能となります。
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簡単メンテナンス
漏液検出時はセンサ検出面の液体をふき取れば、即使用可能です。
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ケーブル長は標準で5m
更に延長する際には延長 が可能な中継ファイバユニット、HPF-EU05（ケーブル長5m）をご用意しています。
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ファイバアンプHPX-AG04（高機能タイマモデル）のラッチ機能との組み合わせ
で漏液検出後、検出出力をラッチ(保持）すると共に表示でも検出したことが確認
できるため、早期に漏液箇所の特定が可能になります。
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■ 外形寸法図 |
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HPF-D040 |
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■ 仕様 |
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| 検出方式 |
反射形(接触式) |
| 適応アンプユニット |
HPX-ET*/HPX-NT* |
| 標準検出液体 |
IPA(イソプロピルアルコール)
1) 最小曲げ半径R20
2) ケーブル長 5m |
| 使用温度範囲 |
-30〜+70℃ |
| 材質 |
本体：PFA ケーブル：ポリエチレン(PFA被覆) プラケット：PFA(SUS) |
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